微加工系统纳米光子学超细综合计划研制项目现场加工定位精度加工范围
摘要：中科院理化技术研究所承担的院仪器研制项目“纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试结果表明，所研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80nm，加工定位精度达到10nm，最大加工范围达到560μm，具备了良好的三维加工能力。
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