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一维原子刻蚀的数值模拟

作者:何明; 李若虹; 王晓锐; 王谨; 詹明生原子刻蚀激光驻波场量子力学数值模拟原子物理学失谐量

摘要:通过直接的数值模似,分析了束在激光驻波场下传播的动力学行为,估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.

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计算物理

《计算物理》(CN:11-2011/O4)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。

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