形貌衬度与成分衬度的特点与用处

衬度成分形貌背散射电子sem二次电子原子序数单组份

摘要：一张SEM图中,通常会有些区域或明或暗。这些亮度的不同主要来自于两类衬度：形貌衬度和成分衬度。如果是纯物质单组份样品,其SEM图中倾斜度比较大的侧面会比较亮。以δ表示二次电子的产率,其与倾角成正相关。这种因为倾角不同而造成的明暗差异称为形貌衬度。在SEM中,背散射电子的数量和原子序数有关联。而这一关联引起了所谓的成分衬度。

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