半导体重入加工过程自动组合装置的建模与分析

作者：白丽平; 伍乃骐自动组合装置建模重入过程

摘要：利用面向资源的着色赋时Petri网,对半导体业中自动组合装置的可重入加工过程进行了建模,描述了具体的加工过程,同时从定性和定量的角度出发,分别分析单手机器人和双手机器人自动组合装置模型的死锁问题和产能,研究了避免死锁的控制策略,以及初始特性、稳态特性和结束特性.

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