作者：张通和; 吴瑜光制备技术应用多层膜离子束类金刚石膜沉积特性dlc膜化学惰性机械工业电子工业压缩应力粘合力薄膜电阻率热导率抗磨损高应力基体
摘要：4．多层DLC膜沉积特性 由于类金刚石膜具有很高的硬度、化学惰性，特别高的热导率和电阻率，因此这种膜在工业上已经有着许多的应用，比如机械工业抗磨损，电子工业中的组装、钝化和散热等。这种膜属于脆性膜，具有很高的压缩应力，高应力膜在使用中往往引起薄膜弯曲，产生应变，薄膜与基体粘合力降低，从而导致薄膜失效。为了增加薄膜与基体的粘合力，
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