作者：宫小凡; 吴智铭自动组合装置佩特里网建模仿真
摘要：半导体制造中的自动组合装置是半导体制造的关键设备和瓶颈设备。对其性能进行量化的直观的分析对于半导体制造的效率和成本预测具有重要意义。文章阐述了如何利用Aarhus大学开发的CPN Tools对单臂双处理仓的自动组合装置建立赋时有色的佩特里网模型。文中按照不同建模思想建立起抽象型和具象型两个结构不同的模型,通过比对进行验证,最后利用CPN Tools自带的仿真功能进行仿真得出模拟运行的结果。文中的研究方法和结论对于复杂的自动组合装置的有色佩特里网的分析具有一定的参考价值。
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