薄膜结构局部结构共溅射磁性共沉积法x射线吸收沉积功率功率控制
摘要:A.Munaz-Noval等人采用耙材共沉积法,用Tb33Fe67和Fe72Ga28两种耙材共沉积TbxFe73Ga27-x(7≤x≤11)薄膜。TbxFe72Ga28-x的沉积功率为90w,而Tb33Fe67的沉积功率控制在50~90w。采用X射线吸收微细结构谱线测定薄膜结构。
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《金属功能材料》(CN:11-3521/TG)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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