参数测量射频推出集成电路生产300mm吉时利公司测量功能参数测试生产过程仪器公司质量监控运行成本测试系统性能模拟逻辑电路半导体第三代晶圆
摘要：吉时利(Keithley)仪器公司了用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频(RF)测量功能，能提供连续、自动、实时的测试质量监控，在提供优等质量结果的同时，也获得了最高测量产能、最低运行成本，以及易于使用的特点。此外，吉时利公司的射频参数测量选件适合于200mm和300mm的半导体参数射频(RF)测试系统，适用于包括高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。
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