完全非接触式液晶玻璃基板缺陷检测技术研究

作者：刘正勇; 刘晏; 王广炎; 陈友东液晶玻璃基板完全非接触电学检测光学检测

摘要：液晶玻璃基板上分布了宽度和间距为微米级的电路,在工艺制作过程中极易产生短路和断路,影响显示器的品质和稳定性。本文为此提出了一种完全非接触式液晶玻璃基板缺陷检测方法,利用电路的分布电容完成信号检测电路与Pattern Line之间的耦合检测缺陷。试验证明,该方法应用于液晶玻璃基板缺陷检测中,简单、准确、可靠。

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