校准装置器件尺寸发动机哈尔滨工业大学形位雾化传感方法开发单位
摘要：技术开发单位哈尔滨工业大学技术概述电技术开发单位提出了基于双光纤共球耦合的微位移传感方法,研制成功深微孔瞄准传感器的测量系统,解决了测头可测深度和孔径大小光学系统景深受限制的难题,可测最小孔径达φ0.1mm,深径比不大于9:1;提出了基于微焦准直的光纤微位移传感方法,研制成功深微孔瞄准传感器与测量系统,其位移放大倍率达2000~10000倍,分辨力达1 nm,深微孔瞄准传感器可测深度为5 mm,可测最小孔径达φ0.1 mm,解决了大深径比微孔径超精密测量难题。
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