作者：吕博; 张建华; 吴行阳射频气相沉积梯度过渡层类金刚石膜抗空蚀性
摘要：本文中采用RF—CVD技术辅助于溅射、反应溅射在不锈钢基体表面沉积了纯Ti层及其化合物层的过渡层，然后在表面沉积掺硅与非掺硅类金刚石膜，研究其力学性能与抗空蚀能力。研究结果表明，增强溥膜硬度和弹性模量可以提高薄膜抗空蚀能力，但较大地弹性模量和内应力同样容易引起薄膜表层剥落。由于掺杂硅元素可使类金刚石膜在水环境中化学性质更加不稳定，所以掺杂硅元素会对薄膜抗空蚀性产生不利影响。
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