作者：杨帆 郑家贵 冯良桓 王文武cdte太阳电池干法腐蚀背接触
摘要：我们采用等离子束轰击的方法,研究了干法腐蚀对多晶CdTe薄膜结构和性能的变化,以及对CdTe太阳电池性能的影响。发现与湿法腐蚀方法相比,等离子束溅射轰击不仅可以彻底清除表面的氧化层,而且可以同时改善表面的微粗糙度,增强薄膜的附着力。通过对不同腐蚀方法所制成的CdTe电池器件的性能测试,得出了电池性能较好的干法腐蚀工艺条件。
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《计量与测试技术》（CN：51-1412/TB）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量与测试技术》本着实用第一、基层第一的办刊宗旨，融计量技术、计量管理、计量与经济、计量与质量和计量信息为一体的综合性、通用性、实用性科技刊物。
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