作者：杨文军; 胡迟; 刘晓军计量学原子力显微镜探针标定可溯源白光干涉
摘要：研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统。在此基础上提出了一种探针标定方法,实现微纳表面可溯源测量。通过对台阶高度为(21. 4±1. 5) nm的标准光栅进行10次重复测量,其结果的平均值为21. 56 nm,标准差为0. 51 nm;同时对高度为150 nm的三维特征样件进行了三维测量,验证了所研制仪器测量的准确性和稳定性。
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