作者：徐靖涛; 高思田; 黄鹭; 李琪; 李东升; 汪...计量学钨探针电化学腐蚀长径比曲率半径
摘要：基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理，设计了一套钨探针制备装置，并对钨探针制备参数进行了研究。装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数，控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态。与传统腐蚀探针相比，该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数，获得了形状可控的大长径比探针；同时通过精确控制腐蚀反应时间，可制备针尖曲率半径范围为5～20nm的探针。
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