作者：方坤礼; 蒋晓英; 甘连香计量学傅里叶变换轮廓术灰度图法频谱混叠
摘要：对传统傅里叶变换轮廓术（FTP）、π相移法以及灰度图法测量结果进行对比分析。结果证明，随着被测物体高度梯度的增加，基于灰度图和π相移技术的改进傅里叶变换轮廓术取得了很好效果，特别是在梯度大于3的情况下适合采用π相移法，能更有效地提高傅里叶变换轮廓术的测量精度。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《计量学报》（CN：11-1864/TB）是一本有较高学术价值的月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量学报》所刊登的英文文摘为《中国科学文摘》、《中国科技文摘》等收录，中文摘要为《计量测试文摘》、《中国物理文摘》等收录，部分英文摘要还为《EI》收录。
省级期刊
人气 238413 评论 36
人气 154100 评论 33
人气 151780 评论 53
人气 123005 评论 54
