作者：解旭辉; 王芸; 李婷计量学微位移传感器光驱激光头自动聚焦探测自动搜寻法s曲线法
摘要：研究开发了一种低成本、高精度的非接触式激光微位移传感器。该传感器采用光驱内激光头作为探测元件，利用其自动聚焦原理开发了S曲线法，同时提出了一种新的测量方法——自动搜寻法，将这两种方法相结合，用来测量复杂物体表面的面形，既可进行大量程的测量，也可进行较小量程内高分辨率的测量。大量程（1．8mm）内分辨率为2μm，在较小量程（200pm）内可达0．2μm。
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