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多光束并行共焦探测系统特性的研究

作者:王永红; 余晓芬; 俞建卫; 黄其圣; 徐科军计量学共焦显微镜并行检测分辨率微透镜阵列

摘要:分析了影响多光束并行共焦三维探测系统特性的各种因素,并与传统的扫描共焦显微术进行了对比分析,给出并行共焦系统横向和纵向分辨率的判定依据和测量范围指标,讨论改善系统性能指标的各项关键技术与途径.介绍了研制的多光束并行共焦检测实验系统的构成,并给出初步实验结果.

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计量学报

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