作者：史恺; 杨小天溶液法制备电学性能
摘要：本文介绍了薄膜晶体管的结构及工作原理,并概述了几种常见的制备氧化物材料工艺方法,其中对溶液方法制备铟镓锌氧有源层进行了详细阐述.溶液法制备更有利于元素配比的调控,制备方法更灵活,可适用于大面积的生产.本文利用旋涂法和喷墨打印法制备了铟镓锌氧化物薄膜晶体管,并进行了电学性能测试与分析.
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