作者：张晓; 叶孝佑; 孙双花; 高宏堂; 常海涛光电显微镜数据处理瞄准精度
摘要：研究了激光干涉比长仪的动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法。分析了基于硬件电路的信号处理方法,及基于高速A/D采样、计算机数据处理的软硬件结合的信号处理方法,分别介绍了这两种方法的系统组成及工作原理。实验证明,前者抗干扰性能差,瞄准精度低;后者实现对刻线信号均匀等距采样,瞄准精度高,在测量速度达3mm/s时,可实现2nm的瞄准分辨率。
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《计量技术》（月刊）创刊于1957年，由国家市场监督管理总局主管，中国计量科学研究院主办，CN刊号为：11-1988/TB，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量技术》坚持为社会主义服务的方向，坚持以马克思列宁主义、思想和邓小平理论为指导，贯彻“百花齐放、百家争鸣”和“古为今用、洋为中用”的方针，坚持实事求是、理论与实际相结合的严谨学风。
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