作者:刘海滨; 张玉存; 周坤; 苏凤燕大尺寸测量光纤延时线波前探测
摘要:对激光热稳频技术的稳频原理和机理进行研究,提出双纵模激光空间合成场强分布为测量原理的大尺寸高精度测量方法,同时把光纤延时线、光纤组倍增和光开关倍增三级级联,应用光纤延时线代替扫描机构构造新型光学测试系统,实现无导轨大尺寸的高精度测量。采用波前探测和图像恢复技术相结合的波前修正系统,减小和消除激光束的变形和抖动。实验结果表明:该系统的重复性优于0.5μm,测量误差小于10μm。
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