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基于光纤延时线的大尺寸测量方法

作者:刘海滨; 张玉存; 周坤; 苏凤燕大尺寸测量光纤延时线波前探测

摘要:对激光热稳频技术的稳频原理和机理进行研究,提出双纵模激光空间合成场强分布为测量原理的大尺寸高精度测量方法,同时把光纤延时线、光纤组倍增和光开关倍增三级级联,应用光纤延时线代替扫描机构构造新型光学测试系统,实现无导轨大尺寸的高精度测量。采用波前探测和图像恢复技术相结合的波前修正系统,减小和消除激光束的变形和抖动。实验结果表明:该系统的重复性优于0.5μm,测量误差小于10μm。

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计量技术

《计量技术》(月刊)创刊于1957年,由国家市场监督管理总局主管,中国计量科学研究院主办,CN刊号为:11-1988/TB,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量技术》坚持为社会主义服务的方向,坚持以马克思列宁主义、思想和邓小平理论为指导,贯彻“百花齐放、百家争鸣”和“古为今用、洋为中用”的方针,坚持实事求是、理论与实际相结合的严谨学风。

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