作者：蒲勇; 王慧传感器技术质量流量流量传感器热敏电阻式al2o3高温材料溅射镀膜激光调阻工艺技术传统工艺高温环境不锈钢漆包线毛细管流体
摘要：介绍了一种适合气态和液态流体的新型热敏电阻式流量传感器,采用了陶瓷、Al2O3、金属铂和不锈钢等高温材料,运用了溅射镀膜、激光调阻、玻璃烧结、钎焊等工艺技术,克服了毛细管上绕漆包线的传统工艺所带来的一系列问题,具有不老化、漂移小、寿命长、适用于高温流体和高温环境等优点.
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《计量技术》（月刊）创刊于1957年，由国家市场监督管理总局主管，中国计量科学研究院主办，CN刊号为：11-1988/TB，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量技术》坚持为社会主义服务的方向，坚持以马克思列宁主义、思想和邓小平理论为指导，贯彻“百花齐放、百家争鸣”和“古为今用、洋为中用”的方针，坚持实事求是、理论与实际相结合的严谨学风。
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