作者:肖刚; 谢铁邦; 王选择相位光栅干涉微位移传感器表面形貌微位移测量
摘要:本文在已有的研究成果基础之上,介绍了一种小型相位光栅干涉式(Phase Grating Interference)微位移传感器,该传感器具有大量程、高分辨力的特点.
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《计量技术》(月刊)创刊于1957年,由国家市场监督管理总局主管,中国计量科学研究院主办,CN刊号为:11-1988/TB,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量技术》坚持为社会主义服务的方向,坚持以马克思列宁主义、思想和邓小平理论为指导,贯彻“百花齐放、百家争鸣”和“古为今用、洋为中用”的方针,坚持实事求是、理论与实际相结合的严谨学风。
省级期刊
人气 366626 评论 69
人气 251414 评论 66
人气 247968 评论 47
部级期刊
人气 247015 评论 10