作者：李洪波; 赵学增; 肖增文; 褚巍; 王凌基于图像边缘阈值化图像处理图像描述sobel算子直方图半导体技术元件临界尺寸
摘要：随着半导体技术的不断发展,半导体刻线临界尺寸不断降低,线边缘粗糙度对元件性能的影响越来越大.本文综合运用图像处理中的直方图图像描述、阈值化描述以及Sobel算子提取半导体刻线的边缘,并根据边缘计算了粗糙度.最后给出了一个样本的实际测量结果并加以分析,结果表明这一方法可以用来测量和分析临界尺寸刻线边缘粗糙度.
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《计量技术》（月刊）创刊于1957年，由国家市场监督管理总局主管，中国计量科学研究院主办，CN刊号为：11-1988/TB，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《计量技术》坚持为社会主义服务的方向，坚持以马克思列宁主义、思想和邓小平理论为指导，贯彻“百花齐放、百家争鸣”和“古为今用、洋为中用”的方针，坚持实事求是、理论与实际相结合的严谨学风。
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