作者:孟磊; 刘玉芹; 王金铃; 徐娜化学增幅光致抗蚀剂光产酸剂
摘要:综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理,对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述,并对其特性和应用做了简单介绍.
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