脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟

作者：胡春香; 吴瑜之脉冲激光沉积等离子体羽辉差分模拟粒子速度zno薄膜

摘要：利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间膨胀的物理机制,进行了深入的讨论。

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