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真空腔泄漏对振动筒压力传感器长期稳定性的影响分析

作者:陈丽艳; 康志宏; 宋继红绝压传感器真空腔漏率稳定性

摘要:针对高精度绝压振动筒压力传感器的测量压力原理,提出传感器对真空度的要求。介绍了真空腔的设计方法和真空度的测试方法。从漏率的角度分析了真空腔泄漏对传感器长期稳定性和测量准确度的影响,最终给出传感器真空腔设计依据和传感器存储使用要求。

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计测技术

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