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几种高纯气体中微量氧的测定方法

作者:王艳; 王津文微量氧测定方法高纯气体电子器件化工产品大气环境质量问题安全事故制造过程

摘要:在人类所处的大气环境中,氧占20.95%,氧气无处不在,无孔不入.如何控制和防范氧的干扰成为化工、冶金、电子等行业所必须面对的问题.若保护气中氧含量过高,会使化工产品出现质量问题,甚至发生安全事故;在电子器件制造过程中,氧含量过高会造成器件性能退化,寿命缩短.

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计测技术

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