作者:刘宁激光干涉仪测量精度触发电路实际尺寸触发装置工件校准仪测头
摘要:0引言 激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用.在使用激光干涉仪(以Agilent 5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件.本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能.
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