作者:樊尚春; 肖志敏; 张庆荣谐振式微机械惯性传感器加速度微传感器微陀螺
摘要:对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点.从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景.
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