液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤研究

作者：李春领; 秦艳红; 程雨; 王春红碲镉汞薄膜损伤层厚度白光干涉仪表面粗糙度

摘要：HgCdTe薄膜表面损伤层厚度测试对其加工工艺及其重要。本文采用白光干涉仪对HgCdTe薄膜表面粗糙度测试,并与损伤层厚度对比,研究发现粗糙度值达到稳定值后,上一步工艺引入的表面损伤已经完全去除,表面的损伤为抛光工艺引入的损伤。这一方法,既能方便快捷地确定损伤层是否完全去除,又未对测试样品产生破坏。

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