作者：李广; 冯国英; 王树同; 张华; 王竹萍; 周...网格状微流体飞秒激光直写液体注入
摘要：报道了 一种利用飞秒激光直写后再用化学腐蚀熔石英表面制备得到网格状微流体沟 道,然后在其表面覆盖一层PDMS薄膜制备网格状半密闭微流体通道的方法.微流体沟道的 形成机制可以定义为飞秒激光辐照导致基底材料改性,而改性区域对HF水溶液的溶解度增 强.使用光学显微镜和扫描电子显微镜（ SEM）表征了网格状微流体通道的形貌.此外,为了 测试该微流体结构的流动特性,进行了液体注入实验.
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