红外增透与保护膜技术的研究

作者：付秀华; 董连和; 付新华; 王崇娥红外增透膜保护膜离子辅助沉积吸收损失剩余反射率

摘要：采用电子束与离子辅助沉积技术，在氟化镁晶体材料上制备3．5～4．9μm增透与保护膜。经过实验，选取氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料，并优化沉积工艺参数，尽可能减少吸收损失，对氟化镁基底实现有效的增透和保护。实验结果表明，镀膜后其单面剩余反射率由未镀膜时的2．5％减少到1．2％，并能承受湿热和雨淋测试。

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