作者：汤跃; 任子明; 李云超; 胡旭文; 张彦军; ...原子与分子物理学芯片原子钟碱金属气室饱和吸收感应耦合等离子体阳极键合
摘要：利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机，制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模，研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征，对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合，获得了三明治结构的微碱金属气室，并检测其饱和吸收谱线。实验结果表明：制备出的微碱金属气室在温度为80℃条件下出现明显的饱和吸收现象。
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