白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法

作者：马龙; 吕毅; 裴昕; 焦智超; 张鸿燕; 胡艳...测量光学无损检测干涉条纹识别vibe算法白光干涉轮廓仪空间扫描范围设定

摘要：摘要为提高白光干涉轮廓仪的测试效率，提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统，选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件（CCD）图像中的干涉条纹进行提取，并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明，该方法能够准确识别扫描上下限位置。

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