作者：唐恒敬 李永富 李雪 龚海梅探测器半导体器件物理光电探测器ingaas偏振响应敏感度
摘要：分析了光电探测器偏振响应产生的原因,定义了探测器偏振敏感度的公式,制备了测试用InGaAs探测器。为了测试器件的偏振敏感度,搭建了测试系统,并对器件的偏振敏感特性进行了测试。结果表明,测试系统具有较好的稳定性;器件响应存在明显的偏振特性,正入射时器件的偏振敏感响应为0.27 dB,斜入射时器件偏振敏感有所增加,入射角度为10°时达到0.41 dB。
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