作者：刘军 袁晓东 罗章 郭楚才 叶卫民集成光学法布里珀罗腔技术脊形波导损耗测量反射谱
摘要：基于法布里珀罗（F-P）腔理论建立了一种简单有效的硅绝缘体（SOI）光波导损耗测量方法。该方法采用端面耦合,通过测试波导反射功率谱并利用傅里叶频谱信息,完成波导损耗的测量。推导中指出了无法直接利用反射谱F-P峰峰谷值求解损耗的限制因素。应用该方法实现了对刻蚀深度为750nm和宽度为1200nm的SOI脊形波导损耗的测量,表明该测量方法能够对小尺寸、低损耗波导实现较高精度的损耗测量。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
