物理研究所kbbf晶体紫外光源全固体激光器可调谐光源输出功率发射光谱学研究人员
摘要：中科院物理研究所研制出了极紫外（DUV）毫瓦级可调谐全固体激光器，可应用于200nm光电子发射光谱学及光刻等领域。研究人员通过Ti：Sapphire激光器进行四次调谐得到了175～210nm的可调谐光源。193nm的输出功率最大可达2．23mW，182—210nm的输出功率在1mW以上。这是首次通过二次调谐实现200nm以下宽可调谐全固体毫瓦级激光器。
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