作者:Yetta(编译)视频显示器碳纤维微反射镜硅材料微机电系统工具设计研究人员耐疲劳性
摘要:开发微机电系统(MEMS)的工程师喜欢用非硅材料制作微机械,原因在于非硅材料丰富,价格便宜,且能用已开发的微电路开发工具设计,另一个原因是硅易断裂。 几十年来,研究人员一直尝试用固定在硅振子上的微反射镜制作视频显示器,但是硅不能快速振荡且不易弯曲。而用碳纤维支撑的微反射镜可弯曲90°,耐疲劳性达百万次以上,更适用于在芯片上制作视频投影器(如图1)。
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