作者：邹凯; 杜诗研; 李慎计算机光学元件灰度掩摸刻蚀法激光直写光学元件计算机应用制作掩模技术激光雷达
摘要：论述计算机光学元件制作的方法,着重介绍了灰度掩模技术,反应离子束刻蚀法和激光直写技术,并且说明了其在空间聚焦器上和激光雷达上的新应用.
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