线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响

作者：李宏达; 秦军存; 邢旭; 明兆坤金刚石线锯多线切割硅片线速度

摘要：为了考察线速度对金刚石线锯切割过程的影响,研究了不同线速度条件下金刚石线锯的磨损情况以及硅片表面质量情况,通过SEM及粗糙度仪对切后线材、硅片等进行微观及量化分析。结果表明：线速度由1300m/min提高至1800 m/min,金刚石线锯磨损量由3.5μm逐渐降低到2.5μm,降幅为28.6%;金刚石线锯切割硅材料为塑性及脆性模式混合去除,硅片表面的形貌呈现沟槽状、连续划痕并伴随大量凹坑;随着线速度的增加,硅片表面粗糙度逐渐减小,算数平均粗糙度Ra、最大高度Rz以及最大表面粗糙度Rt数值分别下降了33.7%、37.8%、45.6%,表面凹坑数量随着线速度的增大也逐渐减少。

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