化学机械抛光中抛光垫修整的作用及规律研究

作者：胡伟; 魏昕; 谢小柱; 黄平化学机械抛光抛光垫修整金刚石颗粒

摘要：抛光垫修整是化学机械抛光的重要过程之一。修整后抛光垫的性能主要由修整器的性能和相关的工艺参数决定。本文介绍常用金刚石修整器的颗粒性能、胎体材料及相关工艺参数，总结金刚石修整器在不同条件下对修整性能的影响规律，发现：金刚石颗粒的类型影响修整效率，RAS越大，修整效率越高；颗粒尺寸的增大有利于提高修整效率；粘结力的增大，可以提高修整效率和使用寿命；颗粒的均匀排列有助于抛光垫表面沟槽的形成；使用陶瓷作为胎体材料，可以提高使用寿命；修整压力及转速的增大，可以提高修整效率；修整温度会对抛光垫的沟槽、微孔及硬度产生影响，温度的升高，可以改善修整质量；修整密度越大，抛光垫的磨损率越高。最后对金刚石修整器的发展趋势做出展望。

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