作者：徐康; 熊显名; 张文涛; 王献英平面光栅尺测量系统解算误差迭代误差
摘要：基于掩模台平面光栅尺的位置算法是多元非线性隐函数方程组,针对其解算较困难的问题,工程上常使用迭代法进行数值解算。但随着掩模台扫描速度的提高,迭代法解算会使位置算法引入较大的迭代误差。开展了掩模台位置解算算法对比实验,并设计了位置模型补偿算法。实验结果表明:在10 kHz的采样频率和2.8 m/s的扫描速度条件下,X,Y和Rz的解算误差分别减少到5.877E-11m,8.617E-11m和5.316E-11rad及以下。
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