作者：黄海松; 张松松; 姚立国; 仝子萱测量阶跃表面相位提取变频相移迭代算法
摘要：在光学精密测量中,机器视觉应用广泛,其中算法的选择会直接影响测量的精度。针对具有阶跃表面的检测物体,采用变频相移干涉测量的方法。在变频相移干涉测量中,相位提取的精度会直接影响测量的精度,常用相位提取算法只能测量简单的光滑表面,测量具有阶跃表面的复杂形面时容易引入相移误差,影响测量的精度。运用一种基于迭代的相位提取算法,通过交替迭代法求解出被测相位。在仿真和实验中,选用既包括光滑曲面和阶跃表面的被测面形,对传统的二步相移算法、四步相移算法和基于迭代的相位提取算法的相位提取精度进行了比较。结果表明,基于迭代的相位提取算法测量误差最小,并且在复杂阶跃表面的测量中其精度优于传统的相位提取算法。
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