作者：王金梅; 代玉; 郑培超微空心阴极放电粒子模拟边界主导效应
摘要：微空心阴极放电是一种新型的放电形式,在材料表面改性、薄膜沉积、杀菌消毒、等离子体显示、微型直流准分子激光器和电热式微推力器等领域应用广泛。本文选用OOPIC Pro粒子模拟软件研究了微空心阴极放电的扩展放电过程,然后再现等离子体区在微薄空心阴极外部的扩展过程,说明放电产生的等离子体可能扩散到阴极外部空间,微空心阴极放电的边界主导效应比空心阴极放电更明显。该研究结果对微空心阴极放电等离子体的机理研究具有一定的指导意义。
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