探测器扫描法测量激光二极管的远场三维分布

作者：刘明明半导体激光二极管光束质量探测器扫描逐角扫描

摘要：改进了探测器扫描法测试半导体激光二极管（1D）光束发散角,采用＂逐角扫描组合＂结合计算机模拟处理的方式,不仅可以得到LD长短轴方向的光强分布,也可以得到空间光强分布。克服了面阵CCD测量法存在测量成本高、测试速度慢等问题。定量讨论了扫描法与CCD测量法之间的偏差,结果表明对于发散角较大的垂直发散角θ┸上,扫描测试结果需要校正。

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