精密定位光栅尺的研究进展

作者：朱沛; 张大伟; 黄元申; 倪争技; 庄松林精密定位莫尔光栅光栅尺位移检测

摘要：本文主要简述光栅尺的最新发展历程。介绍了光栅尺的结构和测量原理以及光栅尺的分类和应用,讨论了光栅尺发展所面临的测量精度、信号处理及栅距细分、光栅的参考标记和绝对坐标以及光栅的载体和热性能等关键问题,并指出了光栅尺未来良好的发展趋势。

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