作者：江超; 王又青气体放电微空心阴极放电微空心阴极维持的辉光放电电子密度
摘要：介绍了微空心阴极放电(microhollow cathode discharge,简称MHCD)的特点,根据MHCD的基本结构设计了-种新的放电结构:它由一个电源和一个可变电阻器构成'微空心阴极维持的辉光放电',MHCD作为放电的阴极,金属针作为放电的阳极.利用该放电结构进行了空气的放电实验,产生了高气压大体积高电流密度的辉光放电等离子体,用于工业上的多种等离子体加工中;如果用稀有气体放电则能够用来作为微型准分子激光器的增益介质.在200Torr气压下,获得了稳定的空气直流放电,等离子体中电子密度估计在1011到1012cm-3之间,测得放电电流范围;8mA-30mA.测得放电V-I特性曲线,它有典型的微空心阴极维持的辉光放电的特点.估计的气体放电温度为2000K左右.
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