工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展

作者：高怀林; 杨艳霞激光应用准分子激光器放电泵浦技术电子束泵浦技术

摘要：本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展.并简要介绍电子束泵浦的重复频率高能、高功率准分子激光器研究进展.

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