高精度光学玻璃光学均匀性测量仪研制

作者：郭培基; 余景池; 丁泽钊; 孙侠菲光学玻璃光学均匀性测量仪检测精度

摘要：围绕研制大口径高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪,简要介绍一种光学玻璃光学均匀性的绝对测量原理及其优点,介绍了系统组成、数据处理方法与流程,给出了与Zygo干涉仪的对比测量结果,结果表明其对大于30mm厚光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达1×10-6.

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