纳米加工技术微机械电子系统纳米电子技术纳米级精度技术领域加工方法微电子
摘要：纳米加工是指达到纳米级精度、尺度和效率的加工。纳米加工技术是为了适应微电子及纳米电子技术、微机械电子系统(MMES)的发展而迅速发展起来的一门加工技术。目前，探索新的纳米加工方法和手段已成为纳米技术领域中的热点。纳米加工技术主要包括：
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《机电一体化》（CN：31-1714/TM）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《机电一体化》是以企业决策层和机电一体化技术与产品的研究、开发与应用人员为主要读者对象的技术与经贸结合的技术类杂志。
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